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真空鍍膜設備存有著氣密性差的問題,假如鍍膜設備維護保養(yǎng)進行后,能做一次氣密性試驗,就可以規(guī)避許多不合格產(chǎn)品的造成,做到節(jié)省成本費用的效果。
鍍膜設備應該在高真空下工作,真空值的優(yōu)劣可以直接危害表層的鍍膜的質(zhì)量。有時鍍膜設備的真空值抽不出來或是真空值不太好,可能是連接頭松脫或是有焊接發(fā)生脫焊。傳統(tǒng)式的氣密性試驗方式應該鍍膜設備關機,充氮,再在猜測有漏的位置涂上肥皂泡,整個過程用時費事極易錯判,針對微小的泄露沒法檢驗。諾益氦質(zhì)譜檢漏儀運用氦氣做為示蹤氣體,小漏率低于5E-13Pam3/s,安全環(huán)保,檢漏時無需關機,立即在機械泵的旁通連接測漏儀便可以迅速有效的進行檢驗了。
蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構-迷走結(jié)構-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
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