臭氧殺菌原理以氧化作用破壞微生物膜的結構實現殺菌作用。臭氧作用于細胞膜，使膜構成成份受損傷而導致新陳代謝障礙，臭氧繼續滲透穿透膜而破壞膜內脂蛋白和脂多糖，改變細胞的通透性，導致細胞溶解、死亡。而臭氧滅活病毒則認為氧化作用直接破壞其核糖核酸RNA或脫氧核糖核酸DNA物質而完成的。

水中應用濃度
◎水應用中臭氧溶解度在0.1mg/L～10mg/L之間。低值作為水消毒凈化要求的低濃度，高值作為“臭氧水消毒劑” 可達到的濃度值。

◎自來水臭氧睜化，國際常規標準為0.4mg/L的溶解度值，保持4分鐘，即CT值為1.6。

◎水中余臭氧濃度保持在0.1～0.5mg/L作用5～10min可達消毒目的。

◎臭氧水消毒滅菌是的，消毒作用在瞬間發生。清水中臭氧濃度一旦達到，在0.5～1分鐘內就殺死細菌，在濃度達4mg/L，在1分鐘內乙肝病毒滅活率為。

◎Herbold報道：20℃條件下，水中臭氧濃度達0.43mg/L時，可將大腸桿菌殺滅，10℃時僅需0.36mg/L即可全部殺滅。

◎臭氧濃度為0.25～38mg/L時，僅需幾秒或幾分鐘完全滅活甲型肝炎病毒（HAV）。

◎礦泉水中臭氧溶解度在0.4～0.5mg/L時，即可滿足殺菌保質要求。合理的臭氧投放量為1.5～2.0mg/L。

◎瓶裝水處理應達0.3～0.5mg/L的臭氧溶解度值，要求投加臭氧應滿足 1m3水2gO3的發生量。根據實踐經驗，臭氧發生濃度8mg/L時容易達到濃度。

高濃度臭氧機/臭氧發生器的產品優點
1、環保衛生
臭氧殺菌消毒之后，會很快自行分解為氧氣，沒有殘留，沒有二次污染，是一種環保型殺菌消毒劑。
2、操作方便
高濃度臭氧消毒機可根據殺菌所需臭氧的濃度及時間，自動設置臭氧殺菌設備的殺菌時間，操作方便。而使用環氧乙酸、醋酸、甲醛殺菌消毒，所需的時間較長。
3、經濟實惠
很多人認為，在食品、藥品、化妝品等產品生產過程中，使用臭氧發生器殺菌消毒，要耗費較高的成本。其實，這種看法是錯誤的。臭氧消毒機使用簡單，插電即可使用，不需要復雜的操作，不需要人員來使用，這可節約用人方面的工資。
同時，使用臭氧發生器的能耗相對較小。從這幾方面來看，使用臭氧殺菌消毒，是一種經濟實惠的殺菌方法，有利于控制生產成本。