在 2.45 GHz 頻率下產生的微波具有產生等離子體的特優勢。在這個頻率下，微波可以有效地與氣體的電子共振，從而提高電離效率。此外，2.45 GHz 頻率允許使用相對較小的腔體尺寸，這對于緊湊型等離子體源的設計非常有用。 微波等離子體源具有多種應用，包括：
電子器件制造：ECR等離子體源在半導體工業中，微波等離子體源可用于清潔晶圓、蝕刻硅片和沉積薄膜層。其結構小巧，可以多個等離子體源組成等離子墻，或者不同形狀以使之便于不同情況的工程應用。
微波等離子體源是一種通過微波能量激發氣體分子來產生等離子體的裝置。它通常由微波發生器、諧振腔和等離子體室組成。微波發生器會產生一定頻率和功率的微波能量，然后將微波能量通過諧振腔傳遞到等離子體室中的氣體分子上。氣體分子會被激發并產生等離子體，這種等離子體可以用于各種應用，如材料表面處理、離子束刻蝕等。微波等離子體源在科學研究和工業生產中都有廣泛的應用。
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