按發生器的高壓電頻率劃分，有工頻（50-60Hz）、中頻（400-1000Hz）和高頻（>1000Hz）三種。工頻發生器由于體積大、功耗高等缺點，已基本退出市場。中、高頻發生器具有體積小、功耗低、臭氧產量大等優點，是現在常用的產品。

按冷卻方式劃分，有水冷型和風冷型。臭氧發生器工作時會產生大量的熱能，需要冷卻，否則臭氧會因高溫而邊產生邊分解。水冷型發生器冷卻效果好，工作穩定，臭氧無衰減，并能長時間連續工作，但結構復雜，成本稍高。風冷型冷卻效果不夠理想，臭氧衰減明顯。總體性能穩定的臭氧發生器通常都是水冷式的。風冷一般只用于臭氧產量較小的中低檔臭氧發生器。在選用發生器時，應盡量選用水冷型的。

按介電材料劃分，常見的有石英管（玻璃的一種）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種類型。使用各類介電材料制造的臭氧發生器市場上均有銷售，其性能各有不同，玻璃介電體成本低性能穩是人工制造臭氧使用早的材料之一，但機械強度差。陶瓷和玻璃類似但陶瓷不宜加工特別在大型臭氧機中使用受到限制。搪瓷是一種新型介電材料，介質和電極于一體機械強度高、可精密加工精度較高，在大中型臭氧發生器中廣泛使用，但制造成本較高。

臭氧是一種氧化性的不穩定氣體，臭氧輸出濃度受多種因素的影響，其中腔體溫度是極重要的因素之一；臭氧在30度左右時會在1分鐘內衰減一半。在 40~50℃ 時衰減達到80%。超過60℃臭氧會馬上分解。

臭氧產量是指臭氧發生器單位時間內臭氧的產出量；臭氧濃度數值與進入臭氧發生器總氣量數值的乘積即為臭氧產量；通常使用mg/h,g/h,kg/h這些單位表示。臭氧發生器標準中規定臭氧發生器規格型號使用臭氧產量表示和區分。小型臭氧發生器使用g/h為單位，大型臭氧發生器使用kg/h為單位區分規格的大小。

使用說明
1、臭氧發生器安裝人員要經過技術培訓才能開機維修；

2、使用臭氧機殺菌時，嚴禁工作人員在濃度較高的臭氧環境中上班和工作；

3、切記設備保養或維修時 處理電源斷掉和把臭氧泄氣的狀態下進行，能夠很好的確保人員安全維修；

4、如有異常，請立即斷電或者通知的人員進行檢修；

5、合格的接地線，安全可靠的接地，禁止安裝在氨氣易泄露或有發生爆炸危險的危險區；

6、對工藝流程臭氧發生器的應用方法操作人員應知曉，并且能熟練的操作此消毒設備；

7、如發生臭氧泄漏的情況需要時間關閉臭氧發生器，并開啟通風設備進行通風處理后，即時退出臭氧發生器使用空間，等空間殘余臭氧降至安全范圍再進入。

臭氧發生器是一種內熱式氣相反應器。因為空氣等類似氣體都是不好的導熱體，電暈放電產生的熱量會使氣體溫度升高。較高的溫度會加速臭氧的逆反應，即臭氧被還原成氧氣，從而降低臭氧產量。因此，冷下也是提高發生器效率的一項措施。由于水和油的吸熱系數遠大于空氣，工業發生器一般采用水冷或油冷發生器。由于空氣冷方便易行，這種形式常用于微型臭氧發生器。　　對于采用水冷方式的發生器，應考慮冷卻水的水質，防止冷卻水結垢，以免影響臭氧發生器的散熱效果，從而減少臭氧的輸出，增加維護成本。因此，如果冷卻水質量不好，需要增加板式冷卻器。