影響臭氧濃度的主要因素有

1、臭氧發生器的結構和加工精度；

2、冷卻方式和條件；

3、驅動電壓和驅動頻率；

4、介電體材料；

5、原料氣體中氧的含量及潔凈和干燥度。

6、發生器電源系統的效率（，熱量轉化少）。

臭氧發生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發生器結構劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結構特點是臭氧在內外電極區間的間隙內產生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開放式發生器的電極是裸露在空氣中的，所產生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發生器可代替開放式發生器使用。但間隙放電式臭氧發生器成本遠開放式。

臭氧發生器應用于水處理工程等場合時，有很多因素可能影響發生器的效率及其可靠性，因此在設計臭氧發生器應用系統時注意下列問題：

⑴發生器原料氣體不得含烴類、腐蝕性氣體和任何其他能在氧/臭氧/電暈環境內發生反應，從而對設備安全造成危害或損壞的物質。

眾所周知，爆炸的三要素是燃料、氧化劑和火種，而臭氧發生器的電暈環境中已存在兩項，即氧化劑和火種。因此防止在原料氣體中含有烴類燃料物質；如果有可能存在烴類物質，安裝烴類分析儀，以便當烴類濃度接近爆炸下限（LEl）的25%時切斷電源。

碳氟化合物，如特氟隆或冷卻劑都可在電暈中分解形成氟，后者能侵蝕玻璃介電材料，可加速介電體損壞。圍繞在電暈室外面的循環冷卻流體有可能通過密封泄漏并進入電暈空間，結果在介電體表面形成一層漆類，涂層。當發生這種情況時，由于這種涂層降低臭氧生產的效率，介電體定期予以清洗。
另外，原料氣還應濾除5μm左右的顆粒，以防止小的干燥劑粉末或其他微粒進入發生器電暈區。以免影響電暈效率。
⑵供氣壓力不能無控制地改變，由于氣壓影響電暈功率誘導和跨越介電體所加電壓，大范圍壓力變化會使發生器運行不可靠。超出電暈功率范圍可造成熔斷器或自動斷電器斷開。超出外加電壓峰值還能造成介電體過早失效。
⑶臭氧發生器系統設計時，能防止大量水進入到發生器內。
⑷冷卻水的水質要好，防止結垢，以免影響發生器的散熱效果。