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影響臭氧濃度的主要因素有
1、臭氧發生器的結構和加工精度；
2、冷卻方式和條件；
3、驅動電壓和驅動頻率；
4、介電體材料；
5、原料氣體中氧的含量及潔凈和干燥度。
6、發生器電源系統的效率（，熱量轉化少。）；
臭氧是一種氧化性的不穩定氣體，臭氧輸出濃度受多種因素的影響，其中腔體溫度是極重要的因素之一；臭氧在30度左右時會在1分鐘內衰減一半。在 40~50℃ 時衰減達到80%。超過60℃臭氧會馬上分解。
臭氧產量是指臭氧發生器單位時間內臭氧的產出量；臭氧濃度數值與進入臭氧發生器總氣量數值的乘積即為臭氧產量；通常使用mg/h,g/h,kg/h這些單位表示。臭氧發生器標準中規定臭氧發生器規格型號使用臭氧產量表示和區分。小型臭氧發生器使用g/h為單位，大型臭氧發生器使用kg/h為單位區分規格的大小。
臭氧發生器應用于水處理工程等場合時，有很多因素可能影響發生器的效率及其可靠性，因此在設計臭氧發生器應用系統時注意下列問題：
⑴發生器原料氣體不得含烴類、腐蝕性氣體和任何其他能在氧/臭氧/電暈環境內發生反應，從而對設備安全造成危害或損壞的物質。
⑵供氣壓力不能無控制地改變，由于氣壓影響電暈功率誘導和跨越介電體所加電壓，大范圍壓力變化會使發生器運行不可靠。超出電暈功率范圍可造成熔斷器或自動斷電器斷開。超出外加電壓峰值還能造成介電體過早失效。
⑶臭氧發生器系統設計時，能防止大量水進入到發生器內。
⑷冷卻水的水質要好，防止結垢，以免影響發生器的散熱效果。
⑸對于氣冷卻發生器來說，冷卻空氣無潮氣、雜質、腐蝕性、氣溶膠、油質或導電物質以及可見粉塵。正常情況下，除非處在一個極度多塵的工業大氣環境內，空氣多半是不需要過濾處理的。
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