獲得方法：利用高壓電離(或化學、光化學反應)，使空氣中悼檔的部分氧氣分解聚合為臭氧，是氧的同素異形轉變過程;亦可利用電解水法獲得。臭氧的不穩定性使其很難實現瓶裝貯存 ，一般只能利用臭氧發生器現場生產，隨產隨用。 臭氧發生器的分類 按臭氧產生的方式劃分，臭氧發生器主要有三種：一是高壓放電式，二是紫外線照射式，三是電解式。

鑒別品質：臭氧發生器品質的優劣可從制造材料、系統配置、冷卻方式、工作頻率、控制方式、臭氧濃度、氣源和電能消耗指標等多方面鑒別。的臭氧發生器應是高介電材料制造、標準配置（含氣源和凈化裝置）、雙電極冷卻、高頻驅動、智能控制、高臭氧濃度輸出、低電耗和低氣源消耗。

臭氧發生器電路由三極管VT1、VT2與電感線圈L1一13、脈沖變壓器T、限流電阻器R1、充電電容器C3,雙向觸發二極管叨5等組成推挽振蕩電路；濾波電感線圈L0,整流二極管VD1與濾波電容器C1、C2等組成半波整流濾波電路。 接通電源，交流220V電壓經LO濾波，VD1整流后，在C1兩端產生十280V左右的電壓，供給推挽振蕩電路。 在開機瞬間，VT1導通。由于C3的充電作用，雙向觸發二極管VD5截止。當C3兩端的充電電壓升至32V時，VD5被觸發而導通，使VT2導通。在VT2導通期間，C3逐漸放電，又使VT2截止。VTl導通后，在脈沖變壓器T的作用下，L1、L2上產生正反饋電壓，此電壓分別加至VTl和VT2的基極，使VTl和VT2交替導通與截止（即VTl導通時，VT2截止；VT2導通時，VTl截止），推挽振蕩電路振蕩工作。 推挽振蕩電路工作后，在脈沖變壓器T的二次側繞組L6上產生脈沖高壓，使臭氧發生片VG工作，產生臭氧。
電解式發生器： 該類臭氧發生器通常是通過電解純凈水而產生臭氧。這種發生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡單。但由于有臭氧產量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途范圍受到限制。這種發生器只是在一些特定的小型設備上或某些特定場所內使用，不具備取代高壓放電式發生器的條件。
紫外線式臭氧發生器 ： 該類臭氧發生器是使用特定波長(185mm)的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短，所以這種發生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。
電解池式臭氧發生器： 由于電極材料、電解液與電解機理方面的大量研究工作,電解法臭氧發生技術進展很大。近期發展的SPE(固態聚合物電解質)電極與金屬氧化催化技術,使用純水得到φ(O3)>14%的高濃度臭氧,使電解池式臭氧發生器的技術跨越了一大步。 Shiue,Lin-Ren等人的臭氧發生器電解池專利中用鈦電極板外表面覆蓋鉑層作為陰極,β-PbO2覆蓋的電極板作為陽極,電池與超大電容器一起作為直流電源,電極上不需覆蓋其它薄膜,電解液用中性的鹽如NaCl來促進臭氧氣體的產生。