按發生器的高壓電頻率劃分，有工頻（50-60Hz）、中頻（400-1000Hz）和高頻（>1000Hz）三種。工頻發生器由于體積大、功耗高等缺點，已基本退出市場。中、高頻發生器具有體積小、功耗低、臭氧產量大等優點，是現在常用的產品。

臭氧發生器品質的優劣可從制造材料、系統配置、冷卻方式、工作頻率、控制方式、臭氧濃度、氣源和電能消耗指標等多方面鑒別。的臭氧發生器應是高介電材料制造、標準配置（含氣源和凈化裝置）、雙電極冷卻、高頻驅動、智能控制、高臭氧濃度輸出、低電耗和低氣源消耗。

使用說明
1、臭氧發生器安裝人員要經過技術培訓才能開機維修；
2、使用臭氧機殺菌時，嚴禁工作人員在濃度較高的臭氧環境中上班和工作；
3、切記設備保養或維修時 處理電源斷掉和把臭氧泄氣的狀態下進行，能夠很好的確保人員安全維修；
4、如有異常，請立即斷電或者通知的人員進行檢修。
5、合格的接地線，安全可靠的接地，禁止安裝在氨氣易泄露或有發生爆炸危險的危險區
6、對工藝流程臭氧發生器的應用方法操作人員應知曉，并且能熟練的操作此消毒設備。
7、如發生臭氧泄漏的情況需要時間關閉臭氧發生器，并開啟通風設備進行通風處理后，即時退出臭氧發生器使用空間，等空間殘余臭氧降至安全范圍再進入。

臭氧殺菌機理以氧化作用破壞微生物膜的結構實現殺菌作用。臭氧作用于細胞膜，使膜構成成份受損傷而導致新陳代謝障礙，臭氧繼續滲透穿透膜而破壞膜內脂蛋白和脂多糖，改變細胞的通透性，導致細胞溶解、死亡。而臭氧滅活病毒則認為氧化作用直接破壞其核糖核酸RNA或脫氧核糖核酸DNA物質而完成的。

臭氧水殺滅情況有些不同，其氧化反應有兩種，微生物菌體既與溶解水中的臭氧直接反應，又與臭氧分解生成之羥基OH的間接反應，由于羥基OH為氧化性的氧化劑，因此臭氧水的殺菌速度極快。

臭氧能氧化分解細菌、病毒內部氧化葡萄糖所的葡萄糖氧化酶，并直接與細菌、病毒發生作用，氧化并穿透其細胞壁，破壞其細胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物，使細菌、病毒的新陳代謝和繁殖過程遭到破壞，而奪取細菌病毒的生命。同時還可以滲透細胞膜組織、侵入細胞膜內作用于外膜脂蛋白和內部的脂多糖，使細胞發生通透性畸變，導致細胞溶解性死亡，并將死亡菌體內的遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、支原體及熱源（內毒素）等溶解死亡。綜觀無菌技術對微生物作用的原理可分為型、殺菌和溶菌型三種。臭氧滅菌消毒屬于溶菌型劑體，可以達到“、地消滅物體內部所有微生物的目的”，不僅這樣而且它的作用是瞬間完成的。

常用的氣源按用途大體可分為下列幾種：
1）干燥氣源——空間消毒、自來水處理、游泳池水、養殖水、生產循環水、中水回用等
2） 富氧氣源——臭氧濃度需求較高的使用場所，如純凈水、礦泉水、污水處理、醫藥食品車間等
3） 工業氧氣源——純度要求較高、濃度需求較重要、小氣量應用場所等
3. 用于大型空間的消毒應用，如醫藥、食品等行業車間的殺菌消毒，一般應安裝管路分通到車間內，使臭氧分布均勻，也有的通入中央空調風道管路，但這種方式有時會造成空調風道金屬件的腐蝕和臭氧消耗。
4. 用于水處理，則主要配置臭氧溶于水的投加裝置，一般分為曝氣式（直接曝氣或氧化塔式）、文丘里射流器式、旋渦負吸式或HICHINE泵混合式樣等幾種，以上其溶于水效率可依次提高，HICHINE泵式效率可達95%以上。
1）曝氣式：自來水、養殖水、生產循環水、生活污水、工業廢水等
2）文丘里射流式：二次供水、純凈水、礦泉水、養殖水冷卻、游泳池水等
3）負吸式：小水體應用
4）氣液混合泵式：小水體應用或臭氧消毒水應用