臭氧發生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發生器結構劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結構特點是臭氧在內外電極區間的間隙內產生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開放式發生器的電極是裸露在空氣中的，所產生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發生器可代替開放式發生器使用。但間隙放電式臭氧發生器成本遠開放式。

注意事項
1、將設備安裝在干燥寬敞的地方，以便于散熱和維護；
2、確保電、氣、水進出氣管線連接正確；
3、使用的線路的容量是符合要求的，以確保消除火災隱患；
4、高壓危險，不要用水沖洗設備。
5、不能置于變電所附近。
6、遠離高壓線。
7、地面不宜潮濕。
8、設備距四周應有一定的空間（≥300mm)。

主要用途
蔬菜、水果、肉類食品殺菌、消毒，減少農藥殘留；
對礦泉水、純凈水、醫用水、自來水殺菌消毒和保鮮處理；
對養殖用水殺菌消毒，防治水產類疾病；
對污水殺菌、脫色；泳池水消毒凈化；
包裝物消毒，環境消毒，空氣凈化，化工合成，材料改性等。

臭氧消毒殺菌機，采用大自然空氣為原料以電子方式高頻高壓放電產生高濃度臭氧比氧分子多了一活潑的氧原子臭氧，化學性質特別活潑，是一種強氧化劑，在一定濃度下可迅速殺滅空氣中的細菌，主要用來消除生活環境中各種有毒物質和有害微生物。臭氧具有不穩定性臭氧在常溫下可以自行還原為氧氣，不會污染環境。而且，原料廣泛，水、空氣都是制取臭氧源，符合保護環境的要求。在純水、礦泉水、無鹽水的生產中，臭氧可起到消毒、滅菌、增氧、凈化和改善口感的作用；在污水處理中，臭氧可處理污水中難處理的化學物質，并有脫色、去異味作用。它在水處理工程的廣泛應用。

臭氧的應用主要是滅菌消毒。這主要是因為臭氧有的氧化能力，臭氧在一定濃度下能與細菌、病毒、病原體等微生物產生生化反應。臭氧具有很高的能量，在常溫、常壓下很快自行分解為氧（O2）和單個氧原子（O），單個氧原子具有很強的活性，對細菌、病毒、病原體等微生物具有較強的氧化作用。

臭氧的應用主要以發生量來確定，分為氣態下消毒和液態下消毒兩大類。臭氧發生量和使用量一般按照發生量的額定發生量乘以時間來確定，但在不同的用途和不同的場所應計出衰減量而后確定。臭氧發生器在使用中，氣源的配置直接影響臭氧的發生濃度、產量和純度，氣源一般分為普通氣源、干燥空氣源、富氧氣源和工業氧氣氣源四種，以上氣源的配置 ，在發生裝置相同的情況，濃度和產量依次遞增。按照應用常識，一般不應配置普通氣源，因為這會影響發生裝置的連接使用壽命并導致發生量不穩定。