臭氧水殺滅情況有些不同，其氧化反應(yīng)有兩種，微生物菌體既與溶解水中的臭氧直接反應(yīng)，又與臭氧分解生成之羥基OH的間接反應(yīng)，由于羥基OH為氧化性的氧化劑，因此臭氧水的殺菌速度極快。

臭氧能氧化分解細(xì)菌、病毒內(nèi)部氧化葡萄糖所的葡萄糖氧化酶，并直接與細(xì)菌、病毒發(fā)生作用，氧化并穿透其細(xì)胞壁，破壞其細(xì)胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白質(zhì)、脂質(zhì)類和多糖等大分子聚合物，使細(xì)菌、病毒的新陳代謝和繁殖過程遭到破壞，而奪取細(xì)菌病毒的生命。同時還可以滲透細(xì)胞膜組織、侵入細(xì)胞膜內(nèi)作用于外膜脂蛋白和內(nèi)部的脂多糖，使細(xì)胞發(fā)生通透性畸變，導(dǎo)致細(xì)胞溶解性死亡，并將死亡菌體內(nèi)的遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、支原體及熱源（內(nèi)毒素）等溶解死亡。綜觀無菌技術(shù)對微生物作用的原理可分為型、殺菌和溶菌型三種。臭氧滅菌消毒屬于溶菌型劑體，可以達到“、地消滅物體內(nèi)部所有微生物的目的”，不僅這樣而且它的作用是瞬間完成的。

常用的氣源按用途大體可分為下列幾種：

1）干燥氣源——空間消毒、自來水處理、游泳池水、養(yǎng)殖水、生產(chǎn)循環(huán)水、中水回用等

2） 富氧氣源——臭氧濃度需求較高的使用場所，如純凈水、礦泉水、污水處理、醫(yī)藥食品車間等

3） 工業(yè)氧氣源——純度要求較高、濃度需求較重要、小氣量應(yīng)用場所等

3. 用于大型空間的消毒應(yīng)用，如醫(yī)藥、食品等行業(yè)車間的殺菌消毒，一般應(yīng)安裝管路分通到車間內(nèi)，使臭氧分布均勻，也有的通入中央空調(diào)風(fēng)道管路，但這種方式有時會造成空調(diào)風(fēng)道金屬件的腐蝕和臭氧消耗。

4. 用于水處理，則主要配置臭氧溶于水的投加裝置，一般分為曝氣式（直接曝氣或氧化塔式）、文丘里射流器式、旋渦負(fù)吸式或HICHINE泵混合式樣等幾種，以上其溶于水效率可依次提高，HICHINE泵式效率可達95%以上。

1）曝氣式：自來水、養(yǎng)殖水、生產(chǎn)循環(huán)水、生活污水、工業(yè)廢水等

2）文丘里射流式：二次供水、純凈水、礦泉水、養(yǎng)殖水冷卻、游泳池水等

3）負(fù)吸式：小水體應(yīng)用

4）氣液混合泵式：小水體應(yīng)用或臭氧消毒水應(yīng)用

臭氧消毒機主要用于食品藥品化妝品等行業(yè)的加工車間和類似場所的空氣滅菌和物體表面滅菌。臭氧消毒機按安裝形式可分為：移動式、壁掛式、吊燈式、落地式等。臭氧消毒機在制藥廠GMP車間和HVAC系統(tǒng)配套使用時，通常分為內(nèi)置式和外置式兩種。使用臭氧發(fā)生器制取臭氧的機器稱為臭氧消毒機，這里臭氧作為消毒劑使用。