臭氧是一種氧化性的不穩定氣體，臭氧輸出濃度受多種因素的影響，其中腔體溫度是極重要的因素之一；臭氧在30度左右時會在1分鐘內衰減一半。在 40~50℃ 時衰減達到80%。超過60℃臭氧會馬上分解。

臭氧產量是指臭氧發生器單位時間內臭氧的產出量；臭氧濃度數值與進入臭氧發生器總氣量數值的乘積即為臭氧產量；通常使用mg/h,g/h,kg/h這些單位表示。臭氧發生器標準中規定臭氧發生器規格型號使用臭氧產量表示和區分。小型臭氧發生器使用g/h為單位，大型臭氧發生器使用kg/h為單位區分規格的大小。

2011年國家出臺了新的國家標準，次規范了臭氧在不同用途中的濃度。

紫外線式臭氧發生器

該類臭氧發生器是使用特定波長（185mm）的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短，所以這種發生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。

電解式發生器

該類臭氧發生器其特性是采用新型PEM膜用低壓直流導通固態膜電極的正負兩極電解去離子水，水在特殊的陽極溶液界面上以質子交換的形式被分離為氫氧分子，氫從陰極溶液界面上直接被排放，氧分子在陽極介面上因高密度電流產生的電子激發而獲得能量，并聚合成臭氧分子。比較常規電暈法發生器的制取方式，有以下優點：

　　1.所產生的臭氧氣體濃度高，重量比數倍于電暈法臭氧發生器，高可達到20%（大于250mg/L）

　　2.所產生的臭氧氣體中，不含氮氧化合物（Nox），無致癌物質。

　　3.工作時抗環境濕度影響高達85%，即使在潮濕的環境下工作下，也能穩定地保持臭氧產量。

　　4.由于使用直流低電壓電解方式，工作時不會產生電磁波和噪音，與其它精密儀器共同工作時，不會造成干擾。

　　5.因所產生的臭氧濃度高，投入水中同等值的臭氧量，用本方式可達到較高的水中剩余臭氧濃度，即可對飲用水進行滅菌與消毒，并可制出高濃度的臭氧水（消毒劑）

　　6.擁有的使用壽命，數倍于電暈法臭氧發生量，膜電極使用壽命。

臭氧發生器應用于水處理工程等場合時，有很多因素可能影響發生器的效率及其可靠性，因此在設計臭氧發生器應用系統時注意下列問題：

⑴發生器原料氣體不得含烴類、腐蝕性氣體和任何其他能在氧/臭氧/電暈環境內發生反應，從而對設備安全造成危害或損壞的物質。

眾所周知，爆炸的三要素是燃料、氧化劑和火種，而臭氧發生器的電暈環境中已存在兩項，即氧化劑和火種。因此防止在原料氣體中含有烴類燃料物質；如果有可能存在烴類物質，安裝烴類分析儀，以便當烴類濃度接近爆炸下限（LEl）的25%時切斷電源。

碳氟化合物，如特氟隆或冷卻劑都可在電暈中分解形成氟，后者能侵蝕玻璃介電材料，可加速介電體損壞。圍繞在電暈室外面的循環冷卻流體有可能通過密封泄漏并進入電暈空間，結果在介電體表面形成一層漆類，涂層。當發生這種情況時，由于這種涂層降低臭氧生產的效率，介電體定期予以清洗。
另外，原料氣還應濾除5μm左右的顆粒，以防止小的干燥劑粉末或其他微粒進入發生器電暈區。以免影響電暈效率。
⑵供氣壓力不能無控制地改變，由于氣壓影響電暈功率誘導和跨越介電體所加電壓，大范圍壓力變化會使發生器運行不可靠。超出電暈功率范圍可造成熔斷器或自動斷電器斷開。超出外加電壓峰值還能造成介電體過早失效。
⑶臭氧發生器系統設計時，能防止大量水進入到發生器內。
⑷冷卻水的水質要好，防止結垢，以免影響發生器的散熱效果。

工作原理

臭氧發生器應用的物理制氧原理，通過制氧塔的變壓吸附作用，在常溫常壓下直接將空氣中的氧和氮分離，取得高純度的氧氣；然后采用電暈放電法獲取臭氧，在常壓下使含氧氣體在交變高壓電場作用下產生電暈放電生成臭氧；通過氣液混合系統進行水和臭氧的混合后，得到一定濃度的臭氧水。

工藝流程
得到臭氧消毒水的工藝流程如下：
空 氣 → 制氧系統 → 臭氧發生系統
↓
水 源 → 氣液混合系統 → 臭氧水
120kg/h大型臭氧發生器及其系列產品可廣泛應用于市政飲用水處理、污水處理、工業廢水處理、煙氣脫硝、紙漿漂白、精細化工氧化等領域，是國家“十二五”以及未來在飲用水安全、環境保護和節能減排等方面“轉方式，調結構”的重要發展方向，也是我國面向環保工程應用并可替代進口的重大技術裝備。